Anyagtechnológia IV.

Tartalom

BEVEZETŐ RÉSZ 3
1.1. Vákuumtechnikai alapfogalmak 3
1.1.1. A nyomás fogalma és mértékegységei; nyomástartományok 3
1.1.2. Az általános gáztörvény 4
1.1.3. Össznyomás és parciális nyomás 5
1.1.4. Egyensúlyi gőznyomás 7
1.2. A kinetikus gázelmélet alapjai 11
1.2.1. Sebességeloszlás 11
1.2.2. Nyomás és ütközési gyakoriság az edény
falain; kondenzálódási és párolgási sebesség 14
1.2.3. Közepes szabad úthossz 16
1.2.4. Belső súrlódás 17
1.2.5. Hőátadás 17
1.2.6. Adszorpció 19
1.2.7. Abszorpció, diffúzió és permeáció 25
1.3. Gázok áramlása 29
1.3.1. Gázmennyiség és gázáram 29
1.3.2. Szívásellenállás és vezetőképesség 31
1.3.3. Szívásteljesítmény és szívássebesség 32
1.3.4. A vákuumtechnika alapegyenlete 33
1.3.5. Effektív szívássebesség 35
1.3.6. Áramlási módok ás nyomástartományok 36
1.3.7. Vezetőképességek számítása 38
2. VÁKUUMSZIVATTYÚK 45
2.1. Vákuumszivattyúkról általában 45
2.2. Mechanikus szivattyúk 47
2.2.1. Forgólapátos szivattyúk 47
2.2.2. Forgódugattyús szivattyúk 50
2.2.3. Forgólapátos és forgódugattyús szivattyúk
üzemeltetése 51
2.2.4. Vízgyűrűs szivattyúk 61
2.2.5. Roots-szivattyúk 64
2.2.6. Molekuláris szivattyúk 71
2.3. Hajtóközeges szivattyúk 75
2.3.1. Gőzsugár-ejektorszivattyúk működési elve 76
2.3.2. Diffúziós szivattyúk működési elve 79
2.3.3. Gőzsugárszivattyúk hajtóközegének kérdései 82
2.3.4. Gőzsugár-ejektorszivattyúk szerkezeti
felépítése és tulajdonságai 86
2.3.5. Diffúziós szivattyúk szerkezeti felépítése és tulajdonságai 90
2.3.6. Gőzsugárszivattyúk üzemeltetése 95
2.4. Szorpciós szivattyúk 101
2.4.1. Krioszorpciós szivattyúk 102
2.4.2. Getterszivattyúk 109
2.4.3. Ionszivattyúk 116
2.4.4. Ion-getterszivattyúk 120
2.5. Kondenzációs szivattyúk 130
2.5.1. Vákuumtechnikai kondenzátorok 130
2.5.2. Krioszivattyúk
3. VÁKUUMTECHNIKAI NYOMÁSMÉRŐK 141
3.1. Előzetes megjegyzések a nyomás értelmezéséről 141
3.2. Össznyomásmérők 142
3.2.1. Mechanikus nyomásmérők 143
3.2.2. Rádióméter-nyomásmérő 150
3.2.3. Hővezetéses nyomásmérők 151
3.2.4. Ionizációs nyomásmérők 153
3.3. Parciális nyomásmérők 175
3.3.1. Ionforrások 176
3.3.2. Analizátorok 179
3.3.3. Iondetektorok 192
4. Vákuumberendezések felépítése 196
4.1. Szerkezeti anyagok 196
4.1.1. Pernek 195
4.1.2. Üvegek és kerámiák 198
4.1.3. Műanyagok 199
4.1.4. Gázáteresztés 200
4.1.5. Gázleadás 204
4.2. Vákuumtartályok falvastagságának méretezése 208
4.3. Oldhatatlan kötések 211
4.3.1. Fém-fém kötések 211
4.3.2. Üveg-üveg és kerámia-kerámia kötések 214
4.3.3. Fém-üveg és fém-kerámia kötések 214
4.4. Oldható kötések 215
4.4.1. Viaszos kötések 215
4.4.2. Csiszolatok 216
4.4.3. Rugalmas műanyagtömítésű kötések 218
4.4.4. Fémtömítésű kötések 223
4.4.5. Hajlékony csatlakozók 225
4.5. Bevezetők és betekintő-ablakok 226
4.5.1. Mozgás bevezetők 226
4.5.2. Elektromos bevezetők 228
4.5.3. Betekintő ablakok 229
4.6. Nyílászáró szerkezetek 230
4.6.1. Csapok 231
4.6.2. Szelepek 232
4.7. Csapdák 236
4.7.1. Olajterelők 236
4.7.2. Mélyhűtött csapdák 237
4.7.3. Adszorpciós csapdák 239
4.8. Segédberendezések 240
4.8.1. Biztosító berendezések gázbetörés esetére 240
4.8.2. Biztosító berendezések áramkimaradás
esetere 241
4.8.3. Biztosító berendezések hűtővízkimaradás
esetére 241
4.8.4. Berendezések a cseppfolyós nitrogén
szintjének állandóan tartására 242
4.9. A vákuumtechnika rajzjelei 243
5. VÁKUUMBERENDEZÉSEK ÜZEMELTETÉSE ÉS KONSTRUKCIÓJA 251
5.1. Általános elvek 251
5.1.1. A műveleti gázáram 252
5.1.2. A külső atmoszférából bejutó gázáram 253
5.1.3. A deszorpciós gázáram 253
5.1.4. Illékony anyagok párolgásából adódó gázáram 254
5.2. Durva- és köz ép vákuum-berendezések 255
5.3. Pinomvákuum-berendezések 256
5.4. Nagyvákuum-berendezések 258
5.5. Ultravákuum-berendezések 260
6. NÉHÁNY VÁKUUMTECHNIKAI MÉRÉS ÉS VIZSGÁLAT 263
6.1. Nyomásmérők kalibrálása 263
6.1.1. Nyomásmérők közvetlen összehasonlitása 263
6.1.2. Nyomásleosztásos módszerek 265
6.2. Vezetőképesség és szívássebesség mérése 269
6.3. Lyukkeresés 273
6.3.1. Lezárt rendszer nyomásnövekedési sebessége 274
6.3.2. Nyomáspróba folyadék alatt 275
6.3.3. Tesla-transzformátor 275
6.3.4. Keresőgázos módszerek 276
6.3.5. A felület befedése 281

Témakörök