Mikroelektronika és technológia

Szerkesztő

Dr. Mojzes Imre

Lektor

Dr. Szép Iván

Dr. Keresztes Péter

Soós Mária

Budapest

'Dr. Mojzes Imre: Mikroelektronika és technológia ' összes példány

Kiadó:	Műegyetemi Kiadó
Kiadás helye:	Budapest
Kiadás éve:	2005
Kötés típusa:	Fűzött kemény papírkötés
Oldalszám:	508 oldal
Sorozatcím:
Kötetszám:
Nyelv:	Magyar
Méret:	24 cm x 17 cm
ISBN:	963-420-847-9
Megjegyzés:	Fekete-fehér ábrákkal. Tankönyvi szám: S2458.

Értesítőt kérek a kiadóról

A beállítást mentettük,
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról

Fülszöveg

Ha szándékaink teljesültek, akkor olyan könyvet tart kezében az Olvasó, amely mind tankönyvnek, mind kézikönyvnek használható. A könyvszerkesztés vezérelve az volt, hogy az egyes részeket olyan szakemberek írják, akik az adott szakterületet aktívan művelik.
A mikroelektronika rövid történetét áttekintve a félvezetőalapú mikroelektronikai elemek fő gyártástechnológiai műveleteit ismertetjük, amit az integrált áramkörök alkatrészkészletének leírása követ. Itt írunk a heteroszerkezetek, az amorf félvezetők és a szubminiatűr eszközök fizikai problémáiról is. A monolit mikroelektronika áramköreit bemutató fejezetben ismertetjük a mikroelektronika alapáramköreit, azok működési sajátosságait, valamint a legújabb irányzatokat is. A vegyület-félvezetők és alkalmazásaik leírása szemléleti ezen anyagcsoport sokszínűségét.
A diszkrét elemek konstrukciója ismertetésével válik teljessé a félvezető eszközök leírása.
Az aktív elemek ismertetését az elektronikai technológiában fontos szerepet játszó moduláramköri szerelőlemezek leírása követi. Ennek keretében ismertetjük a vékony és vastagréteg technológiákat. A moduláramkörök alkatrészei és szereléstechnológiái és ezek számítógépes tervezése két fejezet tárgya.
A könyvben kitérünk az elektronikus részegységek és készülékek konstrukciójára és technológiájára is. A mikroelektronika és az elektronikai technológia alkalmazása az érzékelőkben, a mechatronikában, a mikromechanikában, a keménybevonatokban, a napelemekben és az egyetlen chipben kialakított laboratóriumokkal kapcsolatban különösen érdekes kérdéseket vet fel, ezeket a témákat is tárgyaljuk.
Külön fejezet ismerteti a mikroelektronika és a környezetvédelem kapcsolatát. Elsőként magyarul a nanotechnológiáról külön fejezet szól. A könyvet a minőség és megbízhatóság kérdéskörével foglalkozó fejezet zárja.
A könyvet mind gyakorlati szakembereknek, mind szakirányú közép- és felsőfokú hallgatóknak, doktoranduszoknak ajánljuk. Vissza

Tartalom

Dr. Mojzes Imre: Előszó az első kiadáshoz	15
Előszó a második kiadáshoz	17
Dr. Mojzes Imre: A mikroelektronika rövid története	19
A félvezető-alapú mikroelektronikai elemek fő gyártástechnológiai műveletei	25
Dr. Kormány Teréz - Dr. Mojzes Imre: Szilícium-egykristály rúd és szelet előállítása	25
Dr. Somogyi Károly: Epitaxiás rétegnövesztések	27
- Folyadékfázisú epitaxiás eljárás	29
- Gőzfázisú epitaxiás eljárások	29
- Vákuumepitaxiás eljárások	33
Dr. Motál György: Diffúzió	34
- Diffúziús fluxus, diffúziós tényező	34
- Gyors diffuzánsok szilíciumban	35
- Szubsztitúciós diffuzánsok a szilíciumban	35
- Diffúzió kváziegyensúly mellett	36
- A koncentráció hatása a diffúzióképességre	36
- A p-n átmenetek előállítása diffúzióval	37
- Diffúziós rétegek vizsgálata	38
Dr. Gyulai József: Ionimplantáció	38
- Alapfogalmak, alapjelenségek	40
- Hőkezelési stratégia	42
- Metallurgia és az implantált rétegek ionos keverése (Mixing)	43
- Implanterek	43
- Fejlődési irányok	45
Dr. Szendrő István: Oxidnövesztés és vékonyréteg-leválasztás	46
- Bevezetés az oxidnövesztés témakörébe	46
- A monolit technika szigetelő rétegeinek előállítása CVD-eljárással	54
Szabó Zsolt: Litográfiás eljárások	57
- A litográfia fogalma	57
- Optikai litográfia	59
- Elektronlitográfia	63
- Röntgenlitográfia	64
- Maszkkészítési eljárások	65
- Tisztasági követelmények	66
Dr. Kovács Balázs - Dr. Horváth Zsolt: Fémes kontaktusok	67
- Schottky-kontaktusok	67
- Ohmos kontaktusok	69
Dr. Kovács Balázs: Rétegeltávolítási módszerek	72
Dr. Székely Vladimír - Dr. Mojzes Imre: Kiszerelés, tokozás	74
- Kiszerelés	75
- Diszkrét elemek tokozása	77
- Integrált eszközök tokozása	78
- Hőtechnikai kérdések	79
Dr. Illyefalvi-Vitéz Zsolt: Lézeres technológiák	83
- A lézeres technológiák csoportjai	83
- Lézersugárzással kiváltott kémiai és fizikai folyamatok	85
- Alkalmazási példák	87
Dr. Mizsei János - Dr. Kovács Balázs: Technológiai ellenőrző mérések	87
- Technológiaközi ellenőrző mérések	87
- A végtermék minősítése, hibaanalízis	91
Dr. Bársony István: Struktúratervezés	92
- Technológiai műveletintegráció	92
- Technológiai folyamatszimuláció és szerepe az áramköri integrációban	96
Az integrált áramkörök alkatrészkészlete	101
Dr. Székely Vladimír: A MOS integrált áramkörök alkatrészei	101
- MOS-tranzisztor fém gate elektródával	101
- MOS-tranzisztor poliszilícium gate elektródával	105
- A kapacitások megvalósítása MOS-áramkörökben	109
- A vezetékek tulajdonságai	112
Dr. Székely Vladimír: A bipoláris integrált áramkörök alkatrészei	116
- Az n-p-n tranzisztor technológiai kialakítása	116
- Az n-p-n tranzisztor konstrukciója	120
- A p-n-p tranzisztoros megvalósítása	124
- Dióda megvalósítása	127
- Ellenállás megvalósítása bázisdiffúzióval	128
- További ellenállásfajták	132
- Kondenzátor megvalósítása	133
- Az IC alkatrészek terhelhetősége	134
Dr. Mojzes Imre - Dr. Kovács Balázs: Fém-félvezető átmenetes technológia	136
- MESFET-tranzisztor	137
- Ellenállás	140
- Kapacitás	141
- Induktivitás	142
Dr. Mojzes Imre: Heteroszerkezetek	143
Dr. Mojzes Imre: A szubminiatűr eszközök fizikai problémái	144
Dr. Mojzes Imre: Amorf félvezetők	145
A monolit mikroelektronika áramkörei	147
Dr. Székely Vladimír: Digitális alapáramkörök	147
- Alapfogalmak	147
- MOS-tranzisztoros inverter-konstrukciók, áramkörcsaládok	151
- Bipoláris digitális alapáramkörök	189
Dr. Kovács Ferenc: Összetett logikai áramkörök	194
- Általános kérdések	194
- Dekóderek, multiplexerek	195
- Összeadó áramkörök	197
- Programozott logikai hálók (PLA)	202
- Mikroprocesszorok, mikrokontrollerek	204
Dr. Zólomy Imre: Félvezető memóriák	205
- Bevezető áttekintés	205
- ROM-ok (csak olvasható memóriák)	206
- A RAM-ok (írható-olvasható memóriák)	211
- Általános jellemzők	211
Dr. Kovács Ferenc - Dr. Székely Vladimír: Analóg áramkörök	218
- Bipoláris munkapont-beállító áramkörök	218
- MOS-munkapont-beállító áramkörök	220
- MOS-erősítőelemek és műveleti erősítők	223
- Szélessávú monolit erősítők	228
- MOS-analóg kapcsolók	229
- Analóg IC-k kialakításának termikus szempontjai	231
Dr. Kovács Ferenc - Dr. Székely Vladimír: A berendezésorientált (ASIC) áramkörök	233
- Általános kérdések	233
- Elemmátrix (ULA)	235
- Kapumátrix (UGA)	236
- Cellás tervezésű (standard cellás) áramkörök	237
- Egyedi tervezésű áramkörök	238
- Programozható logikai áramkörök (PLD)	239
Dr. Poppe András - Dr. Székely Vladimír: A tervezési szabályok	239
Dr. Kovács Ferenc - Dr. Székely Vladimír: Az integrált áramkörök tesztelése	240
- Hibamodellek	240
- Kombinációs áramkörök tesztelése	242
- Szekvenciális áramkörök tesztelése	243
- Tesztelhetőre tervezés (DFT)	243
- Beépített önteszt (BIST)	244
- A boundary scan	245
Dr. Poppe András: Mikroelektronikai gépi tervezés	246
- Rendszerszintű tervezés	250
- Logikai tervezés	257
- A fizikai tervezés (layouttervezés)	264
- Legújabb irányzatok	265
Vegyület-félvezetők és alkalmazásaik	269
Dr. Pödör Bálint: III-V típusú vegyület-félvezetők	269
- A III-V típusú vegyület-félvezetők kristály-és sávszerkezete	269
- Szennyezőcentrumok és aktivációs energiák	274
- Töltéshordozó-transzport, kis elektromos terek	274
- Transzport nagy elektromos terekben	277
- Optikai tulajdonságok	279
Dr. Mojzes Imre: II-VI vegyület-félvezetők	281
Dr. Mojzes Imre: A szilícium alapú lézerek	282
Dr. Mojzes Imre: Optikai-elektronikus integrált áramkörök	284
Dr. Mojzes Imre: Egyéb alkalmazások	284
Dr. Mojzes Imre: Összefoglalás	285
A diszkrét elemek konstrukciója	287
Elektronikai diszkrét elemek	287
- Dr. Mizsei János: A nagy teljesítményű eszközök konstrukciós jellegzetességei	287
- Dr. Szentpáli Béla: Nagyfrekvenciás eszközök	289
Dr. Mojzes Imre: Optoelektronikai elemek	293
- Optikai jeladók	294
- Optikai kábelek, csatlakozók	296
- Detektorok	299
Dr. Hahn Emil - Dr. Ripka Gábor - Dr. Harsányi Gábor: A moduláramkörök szerelőlemezei	303
Integrált vékonyréteg RC-hálózatok	303
- Vékonyrétegek előállítása	303
- Vékonyrétegek kialakulása	305
- Vékonyrétegek alkalmazása a hibrid mikroelektronikában	305
- Ábrakialakítás vékonyrétegekből	311
Integrált vastagréteg RC hálózatok	311
- Vastagréteg paszták	313
- Rétegfelvitel	315
- Értékbeállítás (trimmelés)	319
- Vastagréteg hálózatok tervezési szempontjai	320
- A szigetelő alapú hibrid integrált áramkörök hordozói	323
- A vékonyréteg IC-k hordozói	323
- A vastagréteg IC-k hordozói	325
- Szigetelőréteggel bevont fémhordozók	327
- Rézfóliával közvetlenül bevont kerámiahordozók	328
- Többrétegű huzalozású kerámiahordozók	328
Nyomtatott huzalozású hordozók	331
- A nyomtatott huzalozások csoportosítása	333
- A nyomtatott huzalozású hordozók alapanyagai	335
- Nyomtatott huzalozású technológiái	337
A vastagréteg technológia helyzete Magyarországon az ezredforduló után
Dr. Ripka Gábor - Dr. Harsányi Gábor - Hajdu István: A moduláramkörök alkatrészei és szereléstechnológiái	343
Moduláramköri alkatrészek	343
- Furatba szerelhető alkatrészek	343
- Felületre szerelhető alkatrészek	353
Moduláramkörök szereléstechnológiái	365
- A furatbeszerelési technológia	365
- A felületi szereléstechnológia	369
- Multichip-modulok szerelési technológiái	376
Dr. Gál László: Áramköri modulok számítógéppel segített tervezése	381
Tervezőrendszerek	381
- Kapcsolási rajz tervezés	381
- Alkatrész-elrendezés tervezés	382
- Huzalozás-tervezés	384
Dokumentáció készítés	384
Számítógéppel integrált gyártás, gyártásautomatizálás	387
Dr. Fülöp Sándor: Elektronikus részegységek és készülékek konstrukciója és technológiája	389
Vázrendszerek	389
Érintkezős készülékelemek	391
- Csatlakozók	393
- Kapcsolók	397
Villamos kötések	402
- Szorítócsavaros kötés	403
- Tekercselt huzalkötés	403
- Szorítópapucsos kötés	404
- Sajtolt kötések	405
- Villás kötések	406
Hőtechnikai problémák	407
Zavarvédelem, érintésvédelem	410
Készüléktechnológia a személyi számítógép példáján	410
A mikroelektronika és az elektronikai technológia alkalmazása különleges célokra	413
Dr. Mizsei János - Dr. Hahn Emil: Érzékelők	413
- Sugárzásérzékelők	413
- Mechanikai érzékelők	414
- Hőmérséklet-érzékelők	415
- Mágnesestér-érzékelők	415
- Kémiai érzékelők	416
- Szelektivitási kérdések	418
- Intelligens érzékelők	418
Dr. Mojzes Imre: Mechatronika	419
Dr. Hahn Emil: Mikromechanika	420
Dr. Mojzes Imre: Keménybevonatok	425
Dr. Mizsei János: Napelemek	426
- A napenergia jellemzői	426
- A fény hatása a p-n átmenetre	426
- Fény-villamos átalakítók gyakorlati megvalósítási formái	428
Dr. Somogyi Károly: Chip-laboratórium mikro-rendszerek	429
Dr. Mojzes Imre: A mikroelektronika és a környezetvédelem	435
A "zöld mikroelektronika"	435
Ólommentes technológiák	435
Az elektromos és elektronikus hulladék	437
Összefoglalás	442
Dr. Mojzes Imre: Nanotechnológia	443
Bevezetés	443
A technológiáról	443
A nanotechnológia alkalmazásai	446
- Nanocsövek	446
- Multirétegek, mint speciális nanostruktúrák	449
- Nanoelektronika	449
- Híradástechnikai alkalmazások	458
- Energiatárolás nanotechnológia segítségével	459
- Nanotechnológia az információtárolásban	560
- A nanotechnológia társadalmi hatásai	464
Hajdu István: Minőség és megbízhatóság	467
Minőség	467
Megbízhatóság	469
Irodalomjegyzék	489
Tárgymutató	495

Témakörök

Megvásárolható példányok

Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.

Előjegyzem